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LIS-R3是LIS-R2 PLUS的升级版本。它的软件和硬件较LIS-R2 PLUS相比有着多重改进，这使得LIS-R3能够带来更好的用户体验，并提供更全面的可选功能。LIS-R3是一款多功能的用于原硅片、半成品电池、成品电池和小组件的发光成像设备，是研发实验室或生产抽检的理想选择。
| 功能 | 原硅片 | 半成品电池 | 成品电池 | 小组件 | 单晶厚晶圆 |
|---|---|---|---|---|---|
| 光致发光成像(PL) | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ |
| 电致发光成像(EL)和串联电阻成像(Rs) | 可选 | 可选 | |||
| QSS-PC曲线和少子寿命成像 | 可选 | ||||
| IV, Suns-Voc 曲线 | 可选 | 可选 | |||
| Voc, Jmpp, J0和效率成像 | 可选 | 可选 | |||
| 表体分离估算功能 | 可选 | 可选 | |||
| 多晶原硅片详细分析 | 可选 | ||||
| 单晶原硅片详细分析 | 可选 | ||||
| 单晶厚晶圆详细分析 | 可选 |
