LIS-R3 SLUG – BT Imaging

最先进的单晶硅棒和硅片质控机台

LIS-R3 SLUG

用于检测单晶厚晶圆的PL成像设备。一级CZ直拉单晶制造商用此设备进行全面检查。

无需预处理厚晶圆
已验证全天候运行可靠
缺陷展示（滑移线，黑环等）
缺陷检测独家算法
最新版本的设备视野范围已升级

功能	原硅片	半成品电池	成品电池	单晶厚晶圆
光致发光成像(PL)	✔	✔	✔	✔
单晶原硅片详细分析	可选
单晶厚晶圆详细分析				可选

下面展示了不同单晶厚晶圆成像示例。请点击“联系我们”按钮申请全功能演示或进行查询。