iLS-W3 – BT Imaging

与产线同速的硅片检测

iLS-W3

用于原硅片质量控制与分拣的光致发光设备

非接触式检测及分选
容易集成
高产出
独家算法
最新设备的视野范围已升级

样品类型	功能
原硅片	光致发光成像(PL)
	单晶原硅片详细分析

下面展示了不同原硅片的PL成像示例。请点击“联系我们”按钮申请全功能演示或进行查询。